哈特HART molbloc-L层流元件价格_参数_图片_深圳市博信仪器仪表有限公司

摘要:molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内，是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸，可获得不同的 molbloc 量程。

产品概述：

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内，是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸，可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。

特性一览

•可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用

•整合了过滤器，可保护其免受污染

•完整的气体温度调节和测量

•连续、实时的读数

•可以实现全自动

•无活动部件

molbloc-L 量程

molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下，当氮气流经 molbloc 时，标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中，molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别，也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用
	molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）
测量更新速率	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 量程表）
分辨率	0.01% FS
线性	±0.23% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.023% FS，在 10% FS 以下
重复性	±0.1% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.01% FS，在 10% FS 以下
精确度¹	±0.25% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.025% FS，在 10% FS 以下
预测的稳定度² （一年期）	±0.15% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.015% FS，在 10% FS 以下
测量不确定度³	±0.5% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.05% FS，在 10% FS 以下

具有微量程选项的 molbox RFM
	molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）	molbloc-L（量程仅仅是 1E5)
测量更新速率	1 秒	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表）	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表）
分辨率	0.01 % FS，在 0.001 % FS 以下；0.001 % FS，在 10% FS 以下	0.01% FS
线性	±0.23% 读数，从 1% 到 100% FS ±0.0023% FS，在 1% FS 以下	±0.25% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.0125% FS，在 5% FS 以下
重复性	±0.1% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.001% FS，在 1% FS 以下	±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
精确度¹	±0.25% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0025% FS，在 1% FS 以下	±0.32% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.016% FS，在 5% FS 以下
预测的稳定度² （一年期）	±0.15% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0015% FS，在 1% FS 以下	±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
测量不确定度³	±0.5% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.005% FS，在 1% FS 以下	±0.5% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.025% FS，在 5% FS 以下

(责任编辑：rongqe)

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哈特HART molbloc-L层流元件

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用

具有微量程选项的 molbox RFM

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